卢耀华
- 作品数：19 被引量：68H指数：4
- 供职机构：长春理工大学理学院更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
- 高纵横比微孔列阵的干刻工艺被引量：2
- 1998年
- 本文简述了干法刻蚀的现状和Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘ － ＩＣＰ 的结构原理， 给出了高纵横比微孔列阵的初刻实验结果，
- 卢耀华李野端木庆铎姜德龙富丽晨田景全
- 关键词：选择比刻蚀微机械
- 低强度又射线影像系统的信噪比分析被引量：2
- 2002年
- 分析X射线系统的噪声来源 ,以一维方波图象为例 ,推导了其噪声表达式 ,得出图象传递信噪比。根据图象传递信噪比函数 ,讨论了入射线影像系统所能探测圈象的极限。
- 但唐仁李野卢耀华姜得龙
- 关键词：噪声
- 高长径比微孔列阵及其应用
- 文中介绍了高长径比微孔列阵的形成工艺,给出了实验结果,指出了通道内壁存在纵向条带式不均匀分布问题,最后介绍了微孔列阵在MCP中的重要应用.
- 端木庆铎李野卢耀华姜德龙富丽晨田景全
- 关键词：微通道板刻蚀系统
- 文献传递
- Lixiscope及几种材料的X射线吸收特性研究被引量：2
- 1993年
- 介绍Lixiscope及模拟系统,测量了钛片(Ti)、玻璃板、镍片(Ni)和铝片(Al)对峰值能量为40keV的X射线的吸收持性,指出平板式X射线像增强器输入窗口材料选择的原则。
- 田景全彭海波吴奎卢耀华姜德龙
- 关键词：象增强器X辐射
- ＡＴ－ＭＣＰ微孔列阵基体形成的实验研究
- 了ＡＴ－ＭＣＰ微孔列阵基体形成的工艺实验，给出了采用Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘ－ＩＣＰ进行干法刻蚀的初步结果，指出了一些有待深入探索的新现象。
- 端木庆铎姜德龙李野卢耀华
- 关键词：干法刻蚀长径比
- 用半导体工艺制作硅微通道板
- 本文采用多路感应偶合等离子体（ICP）刻蚀系统制备了硅微孔列阵,采用LPCVD制作了连续打拿极,得到具有一定性能的硅微通道板。分析讨论了微孔列阵的表面形貌、反应离子刻蚀滞后以及电子增益系数等问题。结果表明,硅微通道板具有...
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- 关键词：硅微通道板刻蚀打拿极
- 文献传递
- 二维电子倍增器及其新发展被引量：14
- 1999年
- 概述了二维电子倍增器ＲＬＳＧ-ＭＣＰ的发展概况和工艺的局限性，提出了用半导体工艺制作ＡＴ－ＭＣＰ的技术途径，阐述了ＡＴ－ＭＣＰ的优点；介绍了新型ＭＳＰ电子倍增器的原理和特点，最后展望了电子倍增器的发展前景．
- 端木庆铎田景全姜会林姜德龙李野卢耀华富丽晨
- 关键词：电子倍增器微通道板微球板
- 新型变密度卤化物/MCP反射式X射线敏感薄膜的研究被引量：4
- 2002年
- 在MCP输入端通道内壁制作了反射式X射线敏感膜层 ,提高了MCP对能量 35～ 5 0keVX射线的探测能力。实验结果表明 :变密度结构的CsI/MCP中膜层结构较密实时 ,其输出响应可提高 5～ 6倍 ,较无膜MCP提高 1～ 2个数量级 ,和CsBr、KBr相比较 ,以CsI的响应特性为最佳 ;膜层材料、结构、工艺和X射线能量等是影响探测能力的主要因素。
- 田景全姜德龙孙秀平富丽晨但唐仁李野卢耀华端木庆铎
- 关键词：MCP卤化物微通道板
- 低强度X射线影像仪的新发展被引量：8
- 1999年
- 扼要介绍国内外Ｌｉｘｉｓｃｏｐｅ 的概况。提出在国产系统中在Ｘ射线源前加置Ｘ射线准直器，Ｘ 射线影像增强器采用纤维光学输出窗和小孔径大面积微通道板，可以改普像质、扩大视场。
- 李野姜德龙卢耀华端木庆铎田景全富丽晨
- 关键词：X射线影像增强器准直器微通道板
- 微通道板非晶态Al_2O_3电子透射膜被引量：25
- 1996年
- 文中介绍了ＭＣＰ非晶态Ａｌ２Ｏ３电子透射膜在成像器件中的作用，阐述了膜层的选择、形成条件与方法，给出了膜层形成及其与辉光气体放电的关系，测量了膜层及带膜ＭＣＰ的某些特性，并进行了初步分析和讨论．
- 田景全姜德龙富丽晨卢耀华李野王桂芬闫金良
- 关键词：微通道板电子透射膜离子反馈象增强器
