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潘梦瑜

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电镜
  • 1篇电路
  • 1篇射电
  • 1篇透射电镜
  • 1篇集成电路

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇唐雷钧
  • 1篇陈一
  • 1篇宗祥福
  • 1篇潘梦瑜

传媒

  • 1篇电子显微学报

年份

  • 1篇1995
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
集成电路TEM分析的制样技术被引量：6
1995年
对集成电路（ＩＣ）芯片特定部位作透射电镜（ＴＥＭ）分析，样品制备是非常关键的一步。为此，许多实验室￣［１－３］发展了各种针对性的制样技术。通过吸取各种制样技术的长处，结合目前一般ＴＥＭ实验室的制样条件，本文介绍一种用于普通ＴＥＭ实验室的ＩＣ芯片具体制样方法──使用玻璃陪片，在光学显微镜监视下，以机械减薄形成“劈”形试样，使被分析目标在“劈”的“刃口”上。最后用低角度离子磨削使被分析目标附近形成理想的电子透明薄区。
唐雷钧潘梦瑜陈一潘忠伟宗祥福
关键词：集成电路透射电镜
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