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陈鑫

作品数：23 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术医药卫生更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 14篇敏感膜
  • 13篇衬底
  • 11篇柔性衬底
  • 11篇感器
  • 11篇传感
  • 11篇传感器
  • 8篇气体传感
  • 8篇气体传感器
  • 6篇光刻
  • 6篇掺杂
  • 4篇电极
  • 4篇纳米
  • 4篇光刻胶
  • 3篇低浓度
  • 3篇淀积
  • 3篇气敏
  • 3篇热氧化
  • 3篇敏感度
  • 2篇电子束光刻
  • 2篇氧化炉

机构

  • 23篇中国科学院微...
  • 2篇青岛科技大学

作者

  • 23篇李冬梅
  • 23篇梁圣法
  • 23篇陈鑫
  • 23篇詹爽
  • 22篇刘明
  • 21篇谢常青
  • 7篇罗庆
  • 7篇张浩
  • 7篇李小静
  • 4篇张培文
  • 2篇刘宇
  • 2篇牛洁斌
  • 1篇李霞
  • 1篇路程

传媒

  • 1篇电子元件与材...
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 14篇2013
  • 5篇2012
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种制备用于传感器的敏感材料的方法
本发明公开了一种制备用于传感器的敏感材料的方法，该方法包括：将SnO<Sub>2</Sub>固体颗粒浸入FeCl<Sub>3</Sub>的乙醇溶液中；将含有FeCl<Sub>3</Sub>的SnO<Sub>2</Sub>...
李冬梅陈鑫梁圣法詹爽谢常青刘明
文献传递
一种室温检测NH<Sub>3</Sub>的气体传感器的制作方法
本发明公开了一种室温检测NH<Sub>3</Sub>的气体传感器的制作方法，包括：在柔性衬底表面制作金属电极；制作α-Fe<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>-ZnO敏感膜；以及将α-Fe<Sub>2</S...
李冬梅詹爽梁圣法陈鑫谢常青刘明
文献传递
在常温下检测气体的基于柔性衬底的敏感膜的制备方法
本发明公开了一种制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，包括：选取一柔性衬底，并清洗该柔性衬底；在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶，对该光刻胶进行光刻显影，在该柔性衬底表面形成电极图形；在表面具有光刻胶及电极图...
李冬梅詹爽梁圣法陈鑫李小静张浩罗庆谢常青刘明
文献传递
聚二甲基二烯丙基氯化铵元件的氨敏性能研究
2013年
采用聚二甲基二烯丙基氯化铵(PDDAC)作为敏感膜材料,以聚酰亚胺(PI)薄膜为柔性衬底制备了气敏元件,利用能谱分析(EDX)和原子力显微镜(AFM)对PDDAC敏感膜的组成和形貌进行了表征,通过检测元件电阻随氨气浓度的变化对元件的氨敏性能进行了研究。结果表明:室温下,该元件对体积分数为200×10–6的氨气的响应灵敏度为82%,且具有较好的响应-恢复特性,响应时间和恢复时间分别为68 s和63 s。
詹爽李冬梅梁圣法陈鑫李霞
关键词：柔性衬底聚二甲基二烯丙基氯化铵室温
一种制备原位掺杂Pt的NiO有序纳米线阵列的方法
本发明公开了一种制备原位掺杂Pt的NiO有序纳米线阵列的方法，包括：在耐高温绝缘衬底上生长一Ni层；在该Ni层上涂敷光刻胶层，利用电子束光刻在该光刻胶层刻出有序纳米线阵列图形区域，在该有序纳米线阵列图形区域中生长Ni，采...
李冬梅陈鑫梁圣法牛洁斌张培文刘宇李小静詹爽张浩罗庆谢常青刘明
文献传递
一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法
本发明公开了一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，包括：选择一压电基片，在该压电基片表面涂敷光刻胶，对该压电基片表面进行光刻，露出该压电基片表面的敏感膜区域；采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域...
李冬梅陈鑫梁圣法詹爽谢常青刘明
文献传递
基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于柔性衬底的气敏传感器及其制作方法，该气敏传感器从下往上依次为：衬底、下电极、敏感膜和上电极；其中，该敏感膜位于下电极与上电极之间，其截面部分被暴露出来，使得气体在该截面处同敏感膜作用，充分发挥出敏感膜...
梁圣法李冬梅刘明谢常青陈鑫詹爽
文献传递
基于置换反应-热氧化方法制备复合半导体敏感膜的方法
本发明公开了一种基于置换反应-热氧化方法制备复合半导体敏感膜的方法，该方法包括：在耐高温衬底上生长一层Zn；将生长有Zn的衬底浸入Cu的可溶性盐离子溶液中，溶液中的Cu离子被置换出来进而在Zn表面析出Cu纳米颗粒；对表面...
李冬梅陈鑫梁圣法詹爽张培文谢常青刘明
文献传递
基于柔性衬底的传感器膜材料的制备方法
本发明公开了一种基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器敏感膜材料的制备方法，该方法包括：清洗柔性衬底，在柔性衬底上涂敷光刻胶，然后光刻显影，刻蚀掉部分光刻胶形成电极图形；在形成有电极图形的柔性衬底上依次形成Cr层和Au层...
李冬梅詹爽刘明谢常青梁圣法陈鑫
文献传递
一种表面掺杂Au或Pt纳米晶的敏感膜的制备方法
本发明公开了一种表面掺杂Au或Pt纳米晶的敏感膜的制备方法，该方法先在耐高温衬底上生长一层SnO<Sub>2</Sub>或ZnO敏感膜，然后在该SnO<Sub>2</Sub>或ZnO敏感膜上生长一层Au或Pt，最后在退火...
李冬梅陈鑫梁圣法詹爽张培文路程谢常青刘明
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共3页<123>
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