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訾威
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院研究生院
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
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合作作者
朱美芳
中国科学院研究生院
周玉琴
中国科学院研究生院
刘丰珍
中国科学院研究生院
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2008
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用标度理论和蒙特卡洛方法研究微晶硅薄膜的生长机制(英文)
被引量:1
2008年
使用热丝化学气相沉积技术制备微晶硅薄膜(沉积速度为1.2nm/s),通过原子力显微镜研究了薄膜前期生长的粗糙化过程.按照标度理论获得微晶硅薄膜的生长因子为β≈0.67,粗糙度因子为α≈0.80,动力学因子为1/z=0.40.这些标度指数不能用一般的生长模型来解释.通过蒙特卡罗模拟给出与实验一致的结果.模拟表明,入射流方向、生长基元的类型和浓度、生长基元的粘滞、再发射和影蔽过程都对微晶硅薄膜的表面形貌有比较重要的影响.
訾威
周玉琴
刘丰珍
朱美芳
关键词:
微晶硅薄膜
标度理论
蒙特卡罗方法
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