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文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 4篇地震检波器
  • 4篇电化学
  • 4篇检波
  • 4篇检波器
  • 2篇电极
  • 2篇密封
  • 2篇密封件
  • 2篇绝缘
  • 2篇绝缘层
  • 2篇机械密封
  • 2篇封装
  • 2篇封装方法
  • 2篇薄片
  • 2篇MEMS

机构

  • 4篇中国科学院电...

作者

  • 4篇王鹏
  • 4篇陈德勇
  • 4篇王军波
  • 4篇邓涛
  • 4篇范云洁
  • 4篇何文涛

年份

  • 2篇2015
  • 2篇2013
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成,电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片,其均采用MEMS加工技术制造,可方便地改...
陈德勇邓涛王军波何文涛范云洁王鹏
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基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜...
王军波邓涛陈德勇何文涛范云洁王鹏
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基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成,电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片,其均采用MEMS加工技术制造,可方便地改...
陈德勇邓涛王军波何文涛范云洁王鹏
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基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜...
王军波邓涛陈德勇何文涛范云洁王鹏
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共1页<1>
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