何文涛
- 作品数：9 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：欧盟第七框架计划国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：天文地球自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 平面电极型MEMS电化学地震传感器被引量：2
- 2015年
- 针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的结构参数如:电极宽度、电极间距、流道高度等进行了计算和优化。采用MEMS表面工艺和准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器。最后,与采用传统方法精密加工的MET2003器件进行了频率响应和微震动的对比测试。实验结果表明:与MET2003器件相比,平面电极型MEMS电化学地震传感器的带宽从1Hz扩展到了30Hz,两种器件的采集结果具有很好的相关性和一致性,相关系数为0.887,在1Hz处的噪声低于120dB。
- 王军波龚黎明陈德勇何文涛王鹏陈健
- 关键词：微机电系统平面电极
- 基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
- 本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法，所述电化学地震检波器包括：固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心；所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间，且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封；所述弹性膜...
- 王军波邓涛陈德勇何文涛范云洁王鹏
- 文献传递
- MEMS宽带电化学地震检波器被引量：5
- 2015年
- 针对深部油气勘探的需要,研制了基于微机电系统（MEMS）的宽带电化学地震检波器。仿真分析了影响该检波器频带的结构参数,并对其MEMS实现及封装方法进行了研究。利用有限元软件分析绝缘层厚度和阴极孔径对检波器幅频特性的影响,得到了优化的几何参数。基于仿真结果,利用MENS工艺加工硅基的Pt电极和Su-8的绝缘层,然后用物理紧固的方法进行器件封装。最后,分别在水平振动台和基岩上进行了检波器的性能测试和微震监测实验。实验结果表明：无需进行频率补偿,由20μm孔径阴极和200μm厚绝缘层封装的器件的频带可扩展到3~90 Hz,低频扩展到60S的补偿额度小于30dB,检波器的动态范围不小于130dB。实验显示：这种改进的检波器可以作为宽带地震检波器用于深部或海底的油气勘探。
- 何文涛陈德勇王军波张正宇
- 关键词：宽频带
- 基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
- 本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法，所述电化学地震检波器包括：固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心；所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间，且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封；所述弹性膜...
- 王军波邓涛陈德勇何文涛范云洁王鹏
- 文献传递
- 基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
- 本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成，电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片，其均采用MEMS加工技术制造，可方便地改...
- 陈德勇邓涛王军波何文涛范云洁王鹏
- 文献传递
- 基于MEMS技术的电化学地震检波器
- 本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器，涉及地震检波技术，能够检测微弱地震波，是一个层状叠加结构的敏感单元密封在一个盛满电解质溶液的腔体里，敏感单元的每一层包括正面的两对共面叉指形排列的电极和背面的沟槽形绝缘...
- 陈德勇李光北何文涛王军波
- 文献传递
- 基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
- 本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成，电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片，其均采用MEMS加工技术制造，可方便地改...
- 陈德勇邓涛王军波何文涛范云洁王鹏
- 文献传递
- 电化学振动传感器
- 回顾了基于铂网编织和MEMS技术的电化学振动传感器的发展历程.电化学振动传感器使用电解液作为惯性质量块,而运动的电解液使机械运动转化为输出电流.与传统的振动传感器相比,电化学振动传感器避免了机械噪声.本文列举了目前世界上...
- 张正宇王军波陈德勇何文涛龚黎明
- 关键词：电极结构微机电技术
- 基于MEMS技术的电化学地震检波器
- 本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器，涉及地震检波技术，能够检测微弱地震波，是一个层状叠加结构的敏感单元密封在一个盛满电解质溶液的腔体里，敏感单元的每一层包括正面的两对共面叉指形排列的电极和背面的沟槽形绝缘...
- 陈德勇李光北何文涛王军波
- 文献传递
