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崔健

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇学位论文
  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 5篇量子
  • 2篇点阵
  • 2篇锗硅
  • 2篇小尺寸
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇量子点
  • 2篇量子环
  • 2篇量子结构
  • 2篇量子逻辑
  • 2篇纳米
  • 2篇刻蚀
  • 2篇反应离子
  • 2篇反应离子刻蚀
  • 1篇氧化物薄膜
  • 1篇物理性能
  • 1篇分子束
  • 1篇分子束外延
  • 1篇分子束外延生...

机构

  • 5篇复旦大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 5篇崔健
  • 3篇蒋最敏
  • 2篇钟振扬
  • 2篇马英杰
  • 2篇樊永良
  • 1篇林健晖
  • 1篇姜晓明
  • 1篇贾全杰
  • 1篇陈雨
  • 1篇王玉柱
  • 1篇薛宪营
  • 1篇何庆

传媒

  • 1篇核技术

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2011
  • 1篇2008
  • 1篇2004
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
硅基纳米结构及功能氧化物薄膜的分子束外延生长与特性研究
随着半导体技术的进步，人们越来越面临两方面的挑战，一方面，随着集成度的日益提高，器件的尺寸不断的减小，其已经越来越接近传统半导体器件的物理极限，这时器件中的载流子的行为越来越多地显示了波动性，这对于传统半导体器件是非常不...
崔健
关键词：分子束外延物理性能
锗硅量子环生长及其机制的研究
自组织量子环是一种新近才被发现的纳米结构.它们是首先在Ⅲ-Ⅴ族材料中通过在量子点上覆盖一薄层的衬底材料得到的.我们首先在一定温度下在Si(100)衬底上通过在Ge量子点上覆盖一薄层的Si得到了SiGe自组织量子环.原子力...
崔健
关键词：量子点量子环
文献传递
锗硅量子点掠入射小角X射线散射研究被引量：1
2008年
采用同步辐射X射线对MBE制备的锗硅量子点试样进行了掠入射小角X射线散射(GISAXS,grazing incidence small angle X-ray scattering)研究。根据AFM测量得到的量子点尺寸、形状和间距等参数,采用DWBA理论以及合适的分布函数,利用IsGISAXS程序对一维和二维GISAXS测量结果进行了模拟,模拟结果与实验数据符合很好,表明GISAXS是一种探测锗硅量子点尺寸、形状和分布等结构信息有效的方法。
王玉柱贾全杰陈雨薛宪营姜晓明崔健林健晖蒋最敏何庆
关键词：锗硅量子点
高度有序的小尺寸硅基纳米坑阵列的制备方法
本发明属于纳米结构制备技术领域，具体为一种高度有序的小尺寸硅基纳米坑阵列的制备方法。本发明利用大直径聚苯乙烯纳米球，在Si衬底上自组装生成单层纳米球膜作为掩模，经过反应离子刻蚀，直流溅射金薄膜和选择性腐蚀等多次工艺后，最...
钟振扬马英杰崔健樊永良蒋最敏
文献传递
高度有序的小尺寸硅基纳米坑阵列的制备方法
本发明属于纳米结构制备技术领域，具体为一种高度有序的小尺寸硅基纳米坑阵列的制备方法。本发明利用大直径聚苯乙烯纳米球，在Si衬底上自组装生成单层纳米球膜作为掩模，经过反应离子刻蚀，直流溅射金薄膜和选择性腐蚀等多次工艺后，最...
钟振扬马英杰崔健樊永良蒋最敏
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