杨苗苗
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种扭摆式硅微机械加速度传感器被引量：1
- 2006年
- 介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器,对制作过程的一些工艺问题进行探讨,并提出相应的解决办法,主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析,分辨力可以达到1mgn,测试±1gn范围内线性度可以达到99.99%。
- 毋正伟陈德勇杨苗苗徐磊
- 关键词：加速度传感器体硅工艺电容式阳极键合微机电系统
- 微机械振动式陀螺仪综述
- 本文介绍了陀螺仪的发展历程及微机械振动式陀螺仪的工作原理和分类，按结构的不同分别介绍了几种主要的微机械振动式陀螺仪的工作机理，讨论了其亟待解决的问题及未来的发展方向。
- 陈李陈德勇毋正伟杨苗苗陈健
- 关键词：陀螺仪微机械陀螺机电耦合
- 基于MEMS技术的均齿结构硅微机械加速度传感器
- 介绍了一种均齿结构电容式硅微机械加速度传感器，对结构进行了设计、分析和有限元模拟。并采用体硅MEMS(Micro-electromechanical System)硅-玻璃阳极键合和DRIE工艺制作出了传感器样品。对制作...
- 毋正伟陈德勇杨苗苗
- 关键词：微机电系统加速度传感器体硅工艺阳极键合有限元模拟
- 微谐振梁的激振与拾振研究(英文)
- 2006年
- 主要研究静电激励/电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题,推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型,分析谐振梁的同频干扰问题,建立其等效电路模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,能够有效的抑制干扰模态和消除同频信号干扰.
- 陈健陈德勇王军波杨苗苗毋正伟陈李
- 关键词：微机械电子系统同频干扰
- 电容式微加速度计检测电路研究
- 杨苗苗
- 关键词：微电子机械系统电容式加速度计扭摆
