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钟华

作品数：52 被引量：5H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：电子电信医药卫生文化科学交通运输工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 47篇专利
  • 3篇科技成果
  • 2篇期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇文化科学

主题

  • 18篇氧化炉
  • 18篇炉体
  • 17篇立式
  • 14篇半导体
  • 11篇硅片
  • 10篇立式炉
  • 7篇晶片
  • 6篇电偶
  • 6篇热电偶
  • 5篇绝缘
  • 5篇半导体工艺
  • 4篇循环风机
  • 4篇石英
  • 4篇控制系统
  • 3篇氮气
  • 3篇低氧
  • 3篇引线
  • 3篇圆台
  • 3篇水冷
  • 3篇水冷却

机构

  • 52篇北京七星华创...

作者

  • 52篇钟华
  • 35篇董金卫
  • 28篇赵星梅
  • 16篇孙少东
  • 16篇赵燕平
  • 5篇王喆
  • 5篇林松
  • 3篇郑建宇
  • 3篇陈江荣
  • 3篇王健
  • 3篇郝晓明
  • 3篇王丽荣
  • 3篇孙妍
  • 2篇邢凤艳
  • 2篇陈锋
  • 2篇张会英
  • 2篇宋晓彬
  • 2篇蔡玉芝
  • 2篇张豹
  • 2篇杨海燕

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 5篇2013
  • 14篇2012
  • 1篇2011
  • 12篇2010
  • 6篇2009
  • 2篇2007
  • 7篇2004
共 52 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
炉体排风控制装置
本实用新型涉及半导体工艺热处理领域，尤其是涉及一种炉体排风控制装置，包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构...
孙少东董金卫赵燕平钟华
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炉体排风控制装置
本发明涉及半导体工艺热处理领域，尤其是涉及一种炉体排风控制装置，包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构单元...
孙少东董金卫赵燕平钟华
300mm立式氧化炉石英舟旋转装置
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟旋转装置，设有步进电机，石英舟的下方设有SiC转盘，在该SiC盘的底部中央设有固定轴，固定轴的下端设有带轮，该带轮通过传动带与步进电机传动连接；在固定轴的下部设有舟旋转定位装...
钟华赵星梅董金卫王喆赛义德·赛迪
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热处理设备炉丝引线安装固定装置
本实用新型涉及一种半导体热处理设备炉丝引线安装固定装置，包括引线固定块；所述引线固定块上设有通孔，用于通过炉丝引线；所述通孔周围设有凸台，所述凸台位于所述引线固定块的一侧；所述引线固定块的材质为绝缘材料。本实用新型能够有...
孙少东董金卫王健钟华
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300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置
本发明公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹...
钟华赵星梅胡星强艾伦·埃马米
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300mm立式氧化炉石英舟旋转装置
本发明公开了一种300mm立式氧化炉石英舟旋转装置，设有步进电机，石英舟的下方设有SiC转盘，在该SiC盘的底部中央设有固定轴，固定轴的下端设有带轮，该带轮通过传动带与步进电机传动连接；在固定轴的下部设有舟旋转定位装置，...
钟华赵星梅董金卫王喆赛义德·赛迪
立式热处理设备炉体装配装置
本发明公开了一种立式热处理设备炉体装配装置，涉及设备组装技术领域。所述装配装置包括：轮体、结构架、圆台和上载圈；所述轮体设置在所述结构架的下部，用于支撑和移动所述装配装置；所述圆台设置在所述结构架的上部；所述上载圈设置在...
孙少东赵燕平董金卫钟华赵星梅
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300mm立式氧化炉双壁反应管
本发明公开了一种300mm立式氧化炉双壁反应管，设有圆桶形石英材料的外管壁和内管壁，内管壁与外管壁之间设有间隔夹层，外管壁上端封闭，内管壁上端为开口，内、外管壁下端密封连接；在内管壁的下端设有连通内、外管壁之间夹层和气源...
钟华董金卫赵星梅胡星强艾伦·埃马米
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立式氧化炉设备
1.使用本外观设计产品的名称为立式氧化炉设备。;2.使用本外观设计的产品主要用于超薄氮氧化硅薄膜生长、氧化硅薄膜生长、高、低温退火等工艺。;3.本外观设计设计要点：整体形状。;4.本外观设计的主视图为最能表明设计要点的图...
董金卫赵星梅钟华
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低氧控制系统
本发明涉及半导体生产装置领域。本发明的一种低氧控制系统，包括依次连接的氮气输送装置、循环风机和处理腔室，其中，所述处理腔室外部还连接有循环管路和氧气分析仪，所述氧气分析仪的另一入口端与氮气输送装置连接，所述循环风机上还安...
林松赵星梅钟华
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