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林松

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇循环风机
  • 4篇晶片
  • 3篇氮气
  • 3篇低氧
  • 3篇控制系统
  • 3篇换气
  • 2篇立式
  • 1篇底座
  • 1篇氧化炉
  • 1篇圆筒形
  • 1篇气道
  • 1篇热交换
  • 1篇热交换器
  • 1篇污染
  • 1篇隔热
  • 1篇隔热效果
  • 1篇保温

机构

  • 5篇北京七星华创...

作者

  • 5篇钟华
  • 5篇林松
  • 4篇赵星梅
  • 1篇赵燕平
  • 1篇王喆
  • 1篇董金卫
  • 1篇张豹

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 3篇2010
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
保温桶及具有该保温桶的立式热处理装置
本发明公开了一种保温桶及具有该保温桶的立式热处理装置，该保温桶用于支撑晶片舟，包括桶体及底座，所述桶体底部外边缘位于所述底座上表面内。本发明的保温桶及具有该保温桶的立式热处理装置，通过保温桶底座的较桶体突出部分的设置，可...
董金卫赵燕平赵星梅钟华林松
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低氧控制系统
本发明涉及半导体生产装置领域。本发明的一种低氧控制系统，包括依次连接的氮气输送装置、循环风机和处理腔室，其中，所述处理腔室外部还连接有循环管路和氧气分析仪，所述氧气分析仪的另一入口端与氮气输送装置连接，所述循环风机上还安...
林松赵星梅钟华
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低氧控制系统
本实用新型涉及半导体生产装置领域。本实用新型的一种低氧控制系统，包括依次连接的氮气输送装置、循环风机和处理腔室，其中，所述处理腔室外部还连接有循环管路和氧气分析仪，所述氧气分析仪的另一入口端与氮气输送装置连接，所述循环风...
林松赵星梅钟华
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300mm立式氧化炉净化冷却系统
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉净化冷却系统，其特征在于：设有倒U字形气道，该气道由相互连通的圆筒形横向气道(1)和扁平形左、右侧气道(2、3)组成，在横向气道内设有循环风机(1.1)，该气道上还设有空气补给阀(...
钟华张豹王喆林松赛义德·赛迪
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低氧控制系统
本发明涉及半导体生产装置领域。本发明的一种低氧控制系统，包括依次连接的氮气输送装置、循环风机和处理腔室，其中，所述处理腔室外部还连接有循环管路和氧气分析仪，所述氧气分析仪的另一入口端与氮气输送装置连接，所述循环风机上还安...
林松赵星梅钟华
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