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李冲

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：北京航空航天大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压阻
  • 1篇压阻效应
  • 1篇微结构
  • 1篇纳米硅
  • 1篇纳米硅薄膜
  • 1篇硅薄膜

机构

  • 1篇北京航空航天...

作者

  • 1篇余明斌
  • 1篇林鸿溢
  • 1篇何宇亮
  • 1篇于晓梅
  • 1篇武旭辉
  • 1篇王珩
  • 1篇李冲

传媒

  • 1篇材料研究学报

年份

  • 1篇1996
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纳米Si薄膜的结构及压阻效应被引量：9
1996年
使用ＨＲＥＭ及ＳＴＭ技术检测了纳米Ｓｉ薄膜的微结构纳米Ｓｉ薄膜由大量的细微Ｓｉ晶粒以及大量的晶粒间界面区组成．这一特殊的结构造成纳米Ｓｉ薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量．本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用。
何宇亮林鸿溢武旭辉余明斌于晓梅王珩李冲
关键词：压阻效应微结构硅薄膜纳米硅薄膜
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共1页<1>
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