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于茫
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1
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄森鹏
中国电子科技集团公司第四十六研...
陆东梅
中国电子科技集团公司第四十六研...
王利杰
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中国电子科技集团公司第四十六研...
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中国电子科技集团公司第四十六研...
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碳化硅表面高温改性法热场模拟研究
2012年
SiC表面高温改性法制备出的石墨烯的质量较高且可以直接通过光刻在SiC衬底上制作器件,是目前最有希望大规模制备石墨烯的方法之一。但是其产热和导热过程比较复杂,给热场设计带来了较大的难度。本文借助计算机热场模拟技术解决了这个难题,模拟出了与事实相符的结果,并在此基础上优化了坩埚设计,最终指导工艺实验生长出了层数分布均匀的石墨烯。
吴华
王利杰
孙希鹏
黄森鹏
孙信华
于茫
陆东梅
关键词:
石墨烯
石墨坩埚
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