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李华

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇灯管
  • 2篇退火
  • 2篇频闪
  • 2篇控制系统
  • 2篇快速退火
  • 2篇计算机控制
  • 2篇计算机控制系...
  • 2篇加热功率
  • 2篇半导体
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体发生...
  • 1篇等离子体装置
  • 1篇电极
  • 1篇薄膜生长
  • 1篇表面态

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇崔志国
  • 3篇李华
  • 2篇董旭
  • 2篇熊敏
  • 1篇付凯
  • 1篇邢政

年份

  • 2篇2019
  • 1篇2016
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法，包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统；所述电源模块与所述整流滤波模块连接；其中，IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭崔志国熊敏李华
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法，包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统；所述电源模块与所述整流滤波模块连接；其中，IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭崔志国熊敏李华
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一种等离子体装置及其应用
本发明公开了一种等离子体装置及其应用。所述等离子体装置包括等离子体发生器、密封机构、第一电极、第二电极、第一电极板以及第二电极板；所述密封机构能够与薄膜沉积设备的真空腔室配合形成密封空间，第一电极及第二电极设置于密封机构...
邢政付凯李华崔志国
文献传递
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