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王耀辉

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：北京师范大学核科学与技术学院射线束技术与材料改性实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇金刚石膜
  • 2篇类金刚石
  • 2篇类金刚石薄膜
  • 2篇类金刚石膜
  • 2篇TI
  • 1篇等离子体
  • 1篇双等离子体

机构

  • 3篇北京师范大学

作者

  • 3篇张荟星
  • 3篇吴先映
  • 3篇张孝吉
  • 3篇张旭
  • 3篇王耀辉
  • 2篇李强
  • 1篇徐元直

传媒

  • 1篇核技术
  • 1篇北京师范大学...

年份

  • 2篇2007
  • 1篇2006
共 4 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究
2007年
采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯管电流和在有过滤磁场存在条件下不同的C2H2气压对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构的影响规律。实验结果表明:薄膜是由TiC和类金刚石两种结构组成的复合薄膜。C2H2气压和过滤弯管电流都对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构有显著的影响。增加C2H2气压和过滤弯管电流都使薄膜中Ti元素的原子百分含量逐渐下降,C元素的原子百分含量逐渐增加,TiC峰强度逐渐降低,半高宽逐渐增加。
张旭王耀辉吴先映李强张荟星张孝吉
关键词：类金刚石膜
采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究
采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含 Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯管磁场和在有过滤磁场存在条件下不同的 C2H2气压对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构的影响规律。实验结果表明...
张旭王耀辉吴先映李强张荟星张孝吉
关键词：类金刚石膜
文献传递
采用双等离子体制备非晶态碳膜的研究被引量：1
2007年
采用直流金属磁过滤阴极真空弧（FCVA）制造出Ti和乙炔（C2H2）气体的双等离子体在单晶硅（100）上制备非晶态碳膜．重点研究了乙炔气体和过滤线圈电流对非晶态碳膜的结构、形貌和机械性能的影响．研究结果表明，薄膜中主要成分是TiC，并以（111）作为主晶向；随着过滤线圈电流的增大，薄膜的晶粒度越来越小；薄膜表面的粗糙度逐渐减小，变得更加平整；薄膜的应力减小，可以下降到2．5GPa．薄膜的显微硬度和弹性模量随着C2H2体积流qy（C2H2）的增大而降低，硬度和弹性模量分别可以达到33．9GPa和237．6GPa．非晶态碳膜的摩擦因数在0．1～0．25之间，大大低于衬底材料单晶硅片的摩擦因数0．6．随着过滤线圈电流增大，摩擦因数减小．
王耀辉张旭吴先映徐元直张荟星张孝吉
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