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朱效力
作品数:
3
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
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发文基金:
中国科学院知识创新工程
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所
贾锐
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所
涂德钰
中国科学院微电子研究所
臧华萍
中国工程物理研究院激光聚变研究...
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光栅
机构
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中国科学院微...
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中国工程物理...
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中国科学技术...
作者
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朱效力
2篇
涂德钰
2篇
谢常青
2篇
贾锐
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刘明
1篇
王晓方
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高宇林
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张保汉
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范伟
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曹磊峰
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谷渝秋
1篇
魏来
1篇
谢长青
1篇
臧华萍
传媒
1篇
强激光与粒子...
年份
1篇
2011
1篇
2010
1篇
2008
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3
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一种制备交叉结构有机分子器件的方法
本发明涉及微电子学与分子电子学中的微细加工技术领域,公开了一种制备交叉结构有机分子器件的方法,该方法包括:A.在基片表面上淀积电介质薄膜;B.在电介质薄膜表面上旋涂抗蚀剂,利用X射线光刻和显影在抗蚀剂上得到电极图形;C....
涂德钰
刘明
谢常青
朱效力
贾锐
文献传递
软X光谱学光子筛衍射特性的实验表征
被引量:4
2011年
概述了谱学光子筛的设计原理,计算了其透射率,并对设计的软X光谱学光子筛的衍射模式在光学波段进行了模拟计算和实验表征。结果表明,这种新型色散元件具有良好的、与设计预期一致的单级衍射特性,3级及以上的高级衍射能被有效抑制。与传统的透射光栅和以前设计的单级衍射光栅相比,新设计的软X光谱学光子筛更易于实现自支撑,可望在极紫外和软X光谱测量过程中得到广泛应用。
魏来
曹磊峰
范伟
臧华萍
高宇林
朱效力
谢长青
谷渝秋
张保汉
王晓方
关键词:
衍射光栅
衍射特性
一种制备交叉结构有机分子器件的方法
本发明涉及微电子学与分子电子学中的微细加工技术领域,公开了一种制备交叉结构有机分子器件的方法,该方法包括:A、在基片表面上淀积电介质薄膜;B、在电介质薄膜表面上旋涂抗蚀剂,利用X射线光刻和显影在抗蚀剂上得到电极图形;C、...
涂德钰
刘明
谢常青
朱效力
贾锐
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