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朱效力

作品数:3 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
发文基金:中国科学院知识创新工程国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇电极
  • 2篇有机分子
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子学
  • 2篇微细
  • 2篇微细加工
  • 2篇微细加工技术
  • 2篇金属
  • 2篇分子
  • 2篇分子电子学
  • 1篇衍射
  • 1篇衍射光栅
  • 1篇衍射特性
  • 1篇光栅

机构

  • 3篇中国科学院微...
  • 1篇中国工程物理...
  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 3篇朱效力
  • 2篇涂德钰
  • 2篇谢常青
  • 2篇贾锐
  • 2篇刘明
  • 1篇王晓方
  • 1篇高宇林
  • 1篇张保汉
  • 1篇范伟
  • 1篇曹磊峰
  • 1篇谷渝秋
  • 1篇魏来
  • 1篇谢长青
  • 1篇臧华萍

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2008
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
一种制备交叉结构有机分子器件的方法
本发明涉及微电子学与分子电子学中的微细加工技术领域,公开了一种制备交叉结构有机分子器件的方法,该方法包括:A.在基片表面上淀积电介质薄膜;B.在电介质薄膜表面上旋涂抗蚀剂,利用X射线光刻和显影在抗蚀剂上得到电极图形;C....
涂德钰刘明谢常青朱效力贾锐
文献传递
软X光谱学光子筛衍射特性的实验表征被引量:4
2011年
概述了谱学光子筛的设计原理,计算了其透射率,并对设计的软X光谱学光子筛的衍射模式在光学波段进行了模拟计算和实验表征。结果表明,这种新型色散元件具有良好的、与设计预期一致的单级衍射特性,3级及以上的高级衍射能被有效抑制。与传统的透射光栅和以前设计的单级衍射光栅相比,新设计的软X光谱学光子筛更易于实现自支撑,可望在极紫外和软X光谱测量过程中得到广泛应用。
魏来曹磊峰范伟臧华萍高宇林朱效力谢长青谷渝秋张保汉王晓方
关键词:衍射光栅衍射特性
一种制备交叉结构有机分子器件的方法
本发明涉及微电子学与分子电子学中的微细加工技术领域,公开了一种制备交叉结构有机分子器件的方法,该方法包括:A、在基片表面上淀积电介质薄膜;B、在电介质薄膜表面上旋涂抗蚀剂,利用X射线光刻和显影在抗蚀剂上得到电极图形;C、...
涂德钰刘明谢常青朱效力贾锐
文献传递
共1页<1>
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