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文献类型

  • 4篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 4篇电子电信

主题

  • 5篇光刻
  • 4篇光刻胶
  • 2篇电泳
  • 2篇电泳芯片
  • 2篇阴极电泳
  • 2篇粘结层
  • 2篇图形化
  • 2篇子层
  • 2篇微细
  • 2篇微细加工
  • 2篇微细加工技术
  • 2篇芯片
  • 2篇毛细管
  • 2篇毛细管电泳
  • 2篇毛细管电泳芯...
  • 2篇金属
  • 2篇MEMS
  • 1篇带隙基准
  • 1篇带隙基准源
  • 1篇电路

机构

  • 7篇上海交通大学

作者

  • 7篇吴日新
  • 4篇丁桂甫
  • 4篇程吉凤
  • 3篇戴庆元
  • 2篇吴义伯
  • 2篇汪红
  • 2篇姚锦元
  • 2篇毛胜平
  • 2篇宿智娟
  • 1篇孙磊
  • 1篇蔡新午
  • 1篇乔高帅
  • 1篇谢芳

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇电子器件
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 4篇2009
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
毛细管电泳芯片制备方法
一种微细加工技术领域的毛细管电泳芯片制备方法,包括如下步骤:制备第一粘附-种子层;甩第一光刻胶,烘胶,光刻支撑立柱的结构图形;在支撑立柱的结构图形的空腔内电镀支撑立柱;制备第二粘附-种子层;甩第二光刻胶,烘胶,光刻毛细管...
丁桂甫姚锦元程吉凤吴日新宿智娟
文献传递
用于MEMS领域的可图形化聚合物薄膜的制备方法
一种用于MEMS领域的可图形化聚合物薄膜的制备方法,包括:在基底和任何已图形化结构上依次溅射粘结层和金属种子层;通过甩光刻胶并光刻图形化,显影处理后留下了图形化的金属种子层;然后以金属种子层为阴极,惰性金属为阳极进行电泳...
汪红程吉凤吴义伯毛胜平吴日新丁桂甫
从特征尺寸的缩小看光刻技术的发展被引量:7
2009年
从特征尺寸不断缩小变化的角度阐述了近代光刻技术发展的历程。指出90nm节点的主流光刻技术是193nmArF光刻;193nm浸入式光刻技术作为65nm和45nm节点的首选光刻技术,如果配合二次曝光技术,还可以扩展到32nm节点的应用,但成本会增加;如果特征尺寸缩小到22nm和16nm节点,EUV光刻、无掩模光刻以及纳米压印光刻等将成为未来发展的重要研究方向。在对各种光刻技术的原理、特点以及优缺点等分析对比的基础上,对未来主流光刻技术的发展做了一定的展望。
孙磊戴庆元乔高帅吴日新
关键词:无掩模光刻纳米压印光刻特征尺寸
用于MEMS领域的可图形化聚合物薄膜的制备方法
一种用于MEMS领域的可图形化聚合物薄膜的制备方法,包括:在基底和任何已图形化结构上依次溅射粘结层和金属种子层;通过甩光刻胶并光刻图形化,显影处理后留下了图形化的金属种子层;然后以金属种子层为阴极,惰性金属为阳极进行电泳...
汪红程吉凤吴义伯毛胜平吴日新丁桂甫
文献传递
毛细管电泳芯片制备方法
一种微细加工技术领域的毛细管电泳芯片制备方法,包括如下步骤:制备第一粘附-种子层;甩第一光刻胶,烘胶,光刻支撑立柱的结构图形;在支撑立柱的结构图形的空腔内电镀支撑立柱;制备第二粘附-种子层;甩第二光刻胶,烘胶,光刻毛细管...
丁桂甫姚锦元程吉凤吴日新宿智娟
文献传递
新型电流微调CMOS带隙基准源的设计
2009年
介绍了一个新型PTAT电流微调并具有关断模式的CMOS带隙基准源,通过数字控制信号逻辑的改变,可实现1.20~1.27V的基准输出。该带隙基准源采用TSMC0.18μm工艺进行电路和版图设计。仿真结果显示,在输出基准为1.24V的情况下,带隙基准源在-40~125℃,所有工艺角下的最大误差为23.07mV,其中tt工艺角下的温度系数为21×10-6/℃。电源电压为1.8V时,电源电流为63μA;关断模式下电流为93pA。10kHz的电源抑制比为44dB。
吴日新戴庆元谢芳
关键词:CMOS带隙基准
一种高线性度CMOS有源混频器的设计
2009年
设计了一个用于数字电视ZERO-IF结构接收机射频前端的CMOS下变频混频器。基于对有源混频器的噪声机制及线性度的物理理解,对传统的有源混频器电路采用电流注入技术,实现了增益,噪声和线性度折中。电路采用UMC0.18RFCMOS工艺实现,SSB噪声系数为18dB,1/f噪声拐角频率100kHz。电压转换增益为5dB和8dB两档增益,输入1dB压缩点为0dBm,IIP3为15dBm(5dB增益),7dBm(8dB增益)。全差分电路在1.8V供电电压下的功耗不到7mW,可以满足数字电视零中频结构射频前端对高线性度、低闪烁噪声和可变增益的要求。
蔡新午戴庆元吴日新
关键词:CMOS射频集成电路下变频混频器数字电视接收机
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