赵前程
- 作品数：8 被引量：17H指数：2
- 供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 基于硅-玻璃键合工艺的微惯性器件的材料热失配应力表征被引量：2
- 2020年
- 基于硅-玻璃键合工艺实现敏感结构和衬底相接是微惯性器件的主流工艺方案之一。硅和玻璃热膨胀系数不同,在惯性器件环境工作温度发生变化时,硅玻璃接触表面会产生热应力,该应力严重影响器件的性能。为了测量异质材料间的热失配应力以及键合锚点尺寸对应力的影响,本文提出了一种以悬臂梁作为测试结构的锚点形变测量和数据处理方法,用于表征器件的工艺热失配应力。根据仿真结果将锚点设计成切块形式以减小最大应力和结构形变。测试结果表明,对于边长为600,400和200μm的锚点,悬臂梁相对锚点的平均离面位移分别为0.43,0.30和0.20 nm/℃;结果具有良好的重复性。该结果说明锚点热形变与锚点的大小直接相关,这对MEMS惯性结构以及工艺设计改进具有重要的意义。
- 刘梦霞秦强董显山崔健赵前程
- 关键词：悬臂梁测量方法
- 微角振动陀螺仪的非线性行为与改进方案
- 一种新构造的微角振动陀螺仪的设计过程中所遇到的非线性振动的问题。非线性振动导致的频率漂移对陀螺仪的工作精度有比较大的影响.本文运用非线性振动的相关理论和简单的结构力学方法找到产生非线性效应的主要来源，进而尝试提出合理的改...
- 金志昊赵前程陈璞
- 文献传递
- 微角振动陀螺仪的非线性行为与改进方案
- 本文讨论了硅微机械角振动陀螺仪的设计过程中所遇到的一个非线性振动问题。通过实验了解到,这种非线性振动对陀螺仪的工作精度有比较大的影响。本文尝试运用非线性振动相关理论和结构动力学的方法来分析问题,找到非线性效应产生的主要来...
- 金志昊赵前程陈璞
- 关键词：非线性陀螺仪
- 微机械陀螺冲击特性及可靠性研究被引量：4
- 2019年
- 为了深入掌握微机械陀螺的冲击响应特性,本文进行了详细的理论推导和MATLAB仿真分析,并进行了测试验证。冲击试验结果表明,理论分析和试验结果基本一致,考虑最坏情况可知,当脉宽对应的冲击频率与陀螺固有频率越接近,并且陀螺品质因子和冲击加速度幅值越大时,则冲击带来的影响就越大,梁越容易发生断裂失效。因此要使MEMS陀螺具有较强的抗冲击能力,必须综合优化设计陀螺的真空度和固有频率。
- 何春华赵前程赵前程杨振川张大成
- 关键词：微机械陀螺
- 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究
- 2016年
- 为了快速掌握真空封装MEMS陀螺老化失效机理,陀螺进行125℃高温加速实验,并对不同时间节点下的陀螺关键性能进行参数提取。分析结果表明,由于高温老化导致MEMS陀螺内部材料放气、疲劳和应力释放,从而改变品质因子和初始检测电容,最终导致陀螺的零偏、角随机游走系数、零偏稳定性、标度因子等关键性能的严重退化。在工程实际中有一定的参考价值。
- 谷专元何春华陈俊光赵前程张大成闫桂珍
- 关键词：微机械陀螺真空封装
- 微角振动陀螺仪的非线性行为与改进方案
- 本文讨论了硅微机械角振动陀螺仪的设计过程中所遇到的一个非线性振动问题。通过实验了解到,这种非线性振动对陀螺仪的工作精度有比较大的影响。本文尝试运用非线性振动相关理论和结构动力学的方法来分析问题,找到非线性效应产生的主要来...
- 金志昊赵前程陈璞
- 关键词：非线性陀螺仪
- 文献传递
- 微角振动陀螺仪的非线性行为与改进方案
- 一种新构造的微角振动陀螺仪的设计过程中所遇到的非线性振动的问题。非线性振动导致的频率漂移对陀螺仪的工作精度有比较大的影响。本文运用非线性振动的相关理论和简单的结构力学方法找到产生非线性效应的主要来源,进而尝试提出合理的改...
- 金志昊赵前程陈璞
- 文献传递
- MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法被引量：11
- 2017年
- 为了得到微机电系统(MEMS)加速度计硅—玻璃阳极键合的键合强度,进行了剪切破坏测试,并结合材料力学相关理论,得到键合强度表征方法。通过对实验数据的分析,制定键合强度的失效判据,提出了一种评价硅玻璃键合工艺质量的有效方法,在工程实际中具有一定的参考价值。
- 谷专元何春华何春华赵前程赵前程
- 关键词：键合强度
