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王华强

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇脉冲
  • 3篇脉冲调制
  • 2篇等离子体
  • 2篇电子激发
  • 2篇电子激发温度
  • 2篇激发温度
  • 2篇光谱
  • 2篇场强
  • 2篇磁场
  • 2篇磁场强度
  • 1篇大中专
  • 1篇大中专院校
  • 1篇等离子体特性
  • 1篇等离子体应用
  • 1篇电参数
  • 1篇电源
  • 1篇调制频率
  • 1篇院校
  • 1篇输出功率
  • 1篇中专院校

机构

  • 4篇大连理工大学

作者

  • 4篇王华强
  • 3篇张鹏云
  • 1篇牟宗信
  • 1篇孙继忠
  • 1篇李玉洁

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 3篇2012
  • 1篇2011
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种用脉冲调制改善等离子体特性的方法
本发明属于等离子体应用领域，涉及一种用脉冲调制改善等离子体特性的方法。其特征是对电源(频率在2MHz-100MHz区间)进行脉冲调制，就是使电源电压在一段时间内输出(电源工作)，下一段时间内不输出(电源休止)，二者交替进...
张鹏云孙继忠王华强
文献传递
脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar^+光谱特性研究
2012年
本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa^65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以及Ar离子的光谱线相对强度随气压、射频功率、调制频率、占空比和磁场强度大小的变化规律。
王华强张鹏云李玉洁
关键词：脉冲调制磁场强度电子激发温度
脉冲调制磁化容性耦合射频放电中Ar+光谱特性研究
射频容性耦合放电是产生低温等离子体的重要装置之一,早在二十世纪七十年代便被开发出来,因其能在较大面积内产生均匀性良好的低温等离子体,被广泛应用于各工业领域尤其是微电子行业。但是,它所产生的等离子体在密度和能量上都难以被应...
王华强
关键词：发射光谱调制频率磁场强度电子激发温度
文献传递
一种观察尘埃斑图的装置
本发明属于低温等离子体化学技术领域。本发明由反应生成尘埃等离子体的装置加上尘埃斑图的监控部分组成，其特征是：由激光器和光具组来照明尘埃斑图，由记录设备和计算机来存储和分析尘埃颗粒的状况，形成尘埃斑图的反应室设计成透明的圆...
张鹏云王华强牟宗信
文献传递
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