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李玉洁

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇电子激发
  • 1篇电子激发温度
  • 1篇射频等离子体
  • 1篇周期振荡
  • 1篇脉冲
  • 1篇脉冲调制
  • 1篇激发温度
  • 1篇光谱
  • 1篇场强
  • 1篇尘埃云
  • 1篇磁场
  • 1篇磁场强度
  • 1篇磁化

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇张鹏云
  • 2篇李玉洁
  • 1篇杜玉翠
  • 1篇王华强

传媒

  • 2篇真空

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
射频等离子体中尘埃空洞演化研究
2012年
本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气。在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞。通过观察尘埃云体积的变化及尘埃空洞随时间的周期振荡现象,分析尘埃空洞的基本性质,通过记录尘埃颗粒随时间的运动轨迹,初步推断出尘埃颗粒的受力情况,结合尘埃颗粒和尘埃空洞的运动规律,得出射频等离子体中尘埃空洞的特性及形成原因。
李玉洁张鹏云杜玉翠
脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar^+光谱特性研究
2012年
本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa^65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以及Ar离子的光谱线相对强度随气压、射频功率、调制频率、占空比和磁场强度大小的变化规律。
王华强张鹏云李玉洁
关键词：脉冲调制磁场强度电子激发温度
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共1页<1>
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