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全海洋

作品数：40 被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金四川省杰出青年科技基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 32篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 13篇机械工程
  • 8篇自动化与计算...
  • 7篇电子电信
  • 5篇理学
  • 2篇文化科学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 9篇面形
  • 9篇光学
  • 7篇传感
  • 6篇光刻
  • 6篇光学元件
  • 6篇波像差
  • 5篇掩模
  • 5篇物镜
  • 5篇感器
  • 5篇传感器
  • 4篇投影光刻
  • 4篇投影光刻机
  • 4篇图像
  • 4篇平面镜
  • 4篇平移
  • 4篇光电
  • 4篇光电技术
  • 4篇光刻机
  • 4篇波前
  • 4篇大口径

机构

  • 40篇中国科学院
  • 5篇中国科学院大...
  • 1篇华南理工大学

作者

  • 40篇全海洋
  • 24篇侯溪
  • 16篇刘俊伯
  • 13篇李声
  • 12篇胡松
  • 11篇徐富超
  • 9篇王建
  • 9篇付韬韬
  • 9篇吴高峰
  • 8篇伍凡
  • 7篇杜婧
  • 6篇朱咸昌
  • 5篇宋伟红
  • 2篇贾辛
  • 1篇周绍林
  • 1篇唐燕
  • 1篇陈强
  • 1篇刘亮
  • 1篇陈小君
  • 1篇冯金花

传媒

  • 4篇光电工程
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇中国激光
  • 1篇计测技术
  • 1篇第十七届全国...

年份

  • 11篇2023
  • 10篇2022
  • 4篇2021
  • 4篇2020
  • 8篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于线扫描和环带拼接的大口径平面镜的瑕疵检测装置和方法
本发明公开了一种基于线扫描和环带拼接的大口径平面镜的瑕疵检测装置和方法，该装置包括线扫描探测器，环形照明光源，被测平面镜，绕Z轴的旋转台，沿X轴的平移台，计算机。通过将被测平面镜通过平移和旋转，使得整个被测平面镜的表面能...
徐富超全海洋付韬韬胡小川侯溪李声
文献传递
一种基于深度学习的光学元件表面缺陷检测方法
本发明公开了一种基于深度学习的光学元件表面缺陷检测方法，该方法包括以下步骤：1)获取光学元件表面缺陷图像并进行预处理；2)将预处理后的缺陷图像输入预先训练好的缺陷检测模型进行光学元件表面缺陷的智能识别。所述图像预处理是对...
胡小川全海洋徐富超付韬韬侯溪李声
文献传递
一种基于线扫描和环带拼接的大口径平面镜的瑕疵检测装置和方法
本发明公开了一种基于线扫描和环带拼接的大口径平面镜的瑕疵检测装置和方法，该装置包括线扫描探测器，环形照明光源，被测平面镜，绕Z轴的旋转台，沿X轴的平移台，计算机。通过将被测平面镜通过平移和旋转，使得整个被测平面镜的表面能...
徐富超全海洋付韬韬胡小川侯溪李声
文献传递
一种基于相位解析的光学元件自动对心方法
本发明公开了一种基于相位解析的光学元件自动对心方法，该方法包括以下步骤：1)初始化光学元件对心装置，将光学元件放置于检测平台；2)调节成像相机和检测平台，使成像区域覆盖光学元件边缘且成像清晰；3)旋转检测平台，使用成像相...
胡小川全海洋徐富超付韬韬侯溪李声
文献传递
一种基于多传感融合的缺陷三维检测方法
本发明公开了一种基于多传感融合的缺陷三维检测方法，该方法包括以下步骤：1)使用显微成像头对光学元件表面缺陷进行二维检测，获取缺陷二维尺寸数据并定位缺陷位置；2)根据缺陷定位结果，使用白光干涉测量头对缺陷对应区域进行深度检...
胡小川李梦凡赵远程侯溪全海洋
一种基于相位解析的光学元件自动对心方法
本发明公开了一种基于相位解析的光学元件自动对心方法，该方法包括以下步骤：1)初始化光学元件对心装置，将光学元件放置于检测平台；2)调节成像相机和检测平台，使成像区域覆盖光学元件边缘且成像清晰；3)旋转检测平台，使用成像相...
胡小川全海洋徐富超付韬韬侯溪李声
文献传递
一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法
本发明公开了一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法，该装置包括照明系统、掩模、掩模台、温度与压强传感器、光刻物镜、夏克‑哈特曼传感器、传感器运动台、干涉仪和环境控制系统。沿所述照明系统激光照明方向依次是安装在掩模台上...
李天全海洋刘俊伯朱咸昌王建胡松杜婧周吉
测量不确定度在干涉面形检测领域的研究现状及进展被引量：2
2015年
评定测量不确定度是改进面形检测实验室质量的有效途径。为了促进测量不确定度在干涉面形检测领域的普及和应用,综述了近年来国内外在干涉面形检测领域中测量不确定度评估方法的研究现状和最新进展。介绍了量值溯源和测量不确定度的发展及研究现状,主要介绍了自下而上方法(即建模方法)评估测量不确定度和自上而下方法评估测量不确定度,重点阐述了干涉面形测量中的不确定度评估方法研究现状及进展。展望了现代干涉面形检测中不确定度评估的发展方向。
全海洋侯溪伍凡
关键词：测量不确定度溯源性
一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法及装置
本发明公开了一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法和装置，属于光电技术检测领域。该装置包括干涉仪测量系统、标准平板、液槽支撑装置和溶液。将被测样品浸没在密度可调的液体中，使得标准平板下表面和被测样品上表面在液体中形成干...
全海洋侯溪胡小川宋伟红吴高峰伍凡李声
用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法
本发明公开一种用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法，是禁忌搜索‑遗传算法的混合方法。光刻系统空间像成像模型以Abbe成像方法为基础，通过提取掩模有效衍射频谱信息完成空间像强度分布的计算。光源S由四个对称的子区...
刘俊伯孙海峰张清延全海洋杜婧
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