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陈俊光

作品数：2 被引量：14H指数：1
供职机构：工业和信息化部更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 1篇真空封装
  • 1篇失效模式
  • 1篇主要失效模式
  • 1篇陀螺
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机械陀螺
  • 1篇可靠性
  • 1篇机电系统
  • 1篇惯性器件
  • 1篇封装
  • 1篇高温
  • 1篇MEMS
  • 1篇MEMS陀螺
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇华南理工大学
  • 1篇北京大学
  • 1篇广东工业大学
  • 1篇工业和信息化...
  • 1篇工业和信息化...

作者

  • 2篇陈俊光
  • 1篇张大成
  • 1篇何春华
  • 1篇闫桂珍
  • 1篇赵前程

传媒

  • 1篇传感技术学报
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究被引量：14
2017年
针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,通过大量的历史资料调研和失效信息收集等方法,针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,对冲击、振动、湿度、温变、辐照和静电放电(ESD)等不同环境应力条件下的MEMS惯性器件典型失效模式及失效机理进行了深入分析和总结,研究结果有利于指导未来MEMS惯性器件的失效分析和可靠性设计。
陈俊光谷专元何春华黄钦文来萍恩云飞
关键词：可靠性失效模式
真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究
2016年
为了快速掌握真空封装MEMS陀螺老化失效机理,陀螺进行125℃高温加速实验,并对不同时间节点下的陀螺关键性能进行参数提取。分析结果表明,由于高温老化导致MEMS陀螺内部材料放气、疲劳和应力释放,从而改变品质因子和初始检测电容,最终导致陀螺的零偏、角随机游走系数、零偏稳定性、标度因子等关键性能的严重退化。在工程实际中有一定的参考价值。
谷专元何春华陈俊光赵前程张大成闫桂珍
关键词：微机械陀螺真空封装
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