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顾慧

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇四甲基
  • 1篇四甲基氢氧化...
  • 1篇氢氧化
  • 1篇氢氧化铵
  • 1篇甲基

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇李俊伍
  • 1篇秦明
  • 1篇黄见秋
  • 1篇顾慧

传媒

  • 1篇电子器件

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于TMAH溶液的PN结自停止腐蚀的研究
2010年
MEMS器件的性能与尺寸密切相关。介绍了一种精确控制器件尺寸的各向异性腐蚀方法——基于改进TMAH溶液的PN结自停止腐蚀。这种方法几乎不刻蚀铝,从而与CMOS工艺良好地兼容。应用这种办法正面腐蚀,成功释放结构,尺寸与设计比较符合,证明了这种方法的可行性及易操作性。
李俊伍顾慧黄见秋秦明
关键词：四甲基氢氧化铵
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共1页<1>
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