郭宇坤
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
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- 铝诱导表面织构玻璃及其对硅薄膜陷光作用的影响
- 2015年
- 采用铝诱导表面织构方法在玻璃衬底上制备了蜂窝状的凹坑结构;使用热丝化学气相沉积技术在该类衬底上制备了硅薄膜。扫描探针显微镜（SPM）图像表明,通过改变刻蚀时间、刻蚀溶液比例、Al膜厚度和退火时间等制备条件,可以有效控制玻璃表面凹坑结构的尺寸,使其在直径上从0.5μm到6μm,深度上从60 nm到700 nm可调。光吸收谱测试表明此类衬底对硅薄膜的光吸收有着明显的增强效果,以凹坑平均直径为2.3μm,深度为358nm的铝诱导表面织构玻璃为衬底所制备的厚度为150 nm的硅薄膜,在350~1200 nm波长范围内的光吸收与使用平面玻璃为衬底的样品相比可提高28.5%。凹坑的尺寸大小对光吸收增强效果有重要影响。
- 刘勇曹勇董刚强郭宇坤刘丰珍
- 关键词：热丝化学气相沉积硅薄膜陷光结构玻璃衬底
- HWCVD低温制备超薄硼掺杂纳米晶硅薄膜
- 2016年
- 采用热丝化学气相沉积（HWCVD）技术在低温条件下（100℃）制备超薄（-30 nm）的硼掺杂硅薄膜。系统研究了氢稀释比例RH对薄膜的微结构和电学性能的影响。当RH由55增加至115,薄膜的有序度增加,晶化率升高,载流子浓度增加,暗电导率增加;同时,薄膜的缺陷密度增加、霍尔迁移率降低。实验证实,当RH=55-70时,超薄硅薄膜开始晶化,这是薄膜由非晶到纳米晶的转化区。快速热退火工艺进一步提高了薄膜导电率。在RH=115、衬底温度为100℃沉积条件下,经过420℃、80 s退火,获得电导率为6.88 S/cm的超薄硼掺杂纳米晶硅薄膜。
- 郭宇坤周玉荣陈瑱怡马宁刘丰珍
- 关键词：热丝化学气相沉积硅薄膜硼掺杂电学性能
