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光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究被引量：1: 2016年; 实现了一种准分子激光光刻光源中心波长的实时测量方法。基于法布里珀罗（F-P）标准具与中阶梯光栅的相关测量装置,通过对F-P标准具的干涉条纹和光栅衍射条纹的分析,实现了对光刻光源输出激光中心波长的在线有效测量。整个测量装置体积小、成本低,在500-3 000 Hz高重频条件下,实现了亚pm量级的测量精度,标准差低于0.1pm,取得了较好的实验结果。; 高斐赵江山王倩刘广义白路军周翊孟庆宾; 关键词：准分子激光器光刻中心波长

环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析被引量：5: 2016年; 环境温度变化是影响夏克一哈特曼波前传感器（SHWS）测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能，分析了环境温度变化引起的微透镜阵列（MLA）变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件（CCD）间距变化以及球面波点源与SHWS间距变化对SHWS测量精度的影响。分析计算得出，环境温度变化引起的MLA和CCD间距变化是影响SHWS测量精度的主要因素，环境温度在21～24℃内每增加1℃，给测量结果带来的误差[均方根（RMS）]约为0．52nm。通过单模光纤衍射产生近于理想的球面波对SHWS测量精度进行实验验证，实验结果和仿真分析结果基本一致。; 孟庆宾齐月静卢增雄苏佳妮高斐; 关键词：环境温度

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高斐