齐月静
- 作品数：99 被引量：37H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家部委预研基金北京市科委科技计划项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法
- 本发明是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法，是采用夏克‑哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克‑哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形...
- 卢增雄梅东滨齐月静孟庆宾刘广义齐威苏佳妮周翊王宇
- 文献传递
- 基于光弹调制器的对准光路装调方法
- 对准系统是半导体设备光刻机的核心分系统之一，为保证其对准精度，提出了一种基于光弹调制器的对准光路装调方法。针对双光栅对准系统，物光栅、参考光栅与偏l振分光元件SAVART板的相对位置关系是影响对准精度的重要因素，本文运用...
- Li Weichao李伟超Qi Yuejing齐月静Liu Guangyi刘广义Wang Yu王宇
- 关键词：集成电路
- 用于非球面检测的全息补偿器和非球面模拟器设计方法研究
- 齐月静
- 关键词：非球面检测计算全息补偿器
- 一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法
- 本发明公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工作台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电...
- 刘广义齐月静张清洋周翊王宇
- 文献传递
- 一种光学系统波像差测量装置与测量方法
- 本发明公开了一种光学系统波像差测量装置和方法，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克-哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换...
- 卢增雄齐月静苏佳妮杨光华周翊王宇
- 圆形计算全息图的设计及其参数计算被引量：2
- 2006年
- 为实现非球面的高精度检测,在设计全息图时采用虚拟玻璃的概念,即用光学设计软件ZEMAX建立折射率为0的玻璃模型,实现全息片的出射波前沿非球面的法线方向入射,简化了补偿器的设计优化过程,提高了设计精度,最大光程差小于0.000 7λ(λ=632.8 nm).编制了衍射面工艺参数的计算程序,利用该程序可快速地计算出衍射面各环带的径向坐标、最小特征尺寸、最大环带数,还可以输出位相图、连续面形图、台阶图等,为光学设计和实际加工提供了有效的解决途径.
- 齐月静王平康果果谢敬辉刘祎杨辉赵罘
- 关键词：非球面计算全息图ZEMAX补偿器
- 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置
- 本实用新型提出一种基于全反射原理的液体透过率测量装置，所述测量装置顺次包括光源，第一光学棱镜，样品管，第二光学棱镜，所述测量装置还包括用于移动第一光学棱镜的第一精密位移台，用于移动第二光学棱镜的第二精密位移台，探测系统，...
- 苏佳妮齐月静齐威卢增雄杨光华王宇
- 文献传递
- 一种光学测量台架装置
- 本发明涉及一种光学测量台架装置，该台架结构从上至下包括均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。该台架装置解决了夏克‑哈特曼传感器、双光栅剪切干涉等检测系统的结构调整困难的问题，并且具有一定范围的...
- 齐威齐月静王宇卢增雄
- 文献传递
- 基于虚拟仪器的大型温度场测试系统
- 本文基于虚拟仪器技术,研究开发出一套通用化集成软硬件的温度场测试系统。该系统具有集成化、通用化和模块化的优点,实现了多通道信号的实时采集、处理和分析功能,该系统可对传热问题进行综合分析,并能对试验结果和温度场、流场传热仿...
- 齐月静刘占卿姜毅侯传勋
- 关键词：虚拟仪器温度场测试系统
- 文献传递
- 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置
- 本实用新型提供一种光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置，属于投影光刻性能检测领域，旨在解决现有技术中由于投影物镜像方视场较大、没有足够大尺寸的探测器直接在线测量的技术问题，其中，所述在线测量装置包括探测器、掩模板、掩模台...
- 苏佳妮卢增雄齐月静杨光华王宇
- 文献传递
