卢增雄
- 作品数：78 被引量：47H指数：5
- 供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种光学系统波像差测量装置与测量方法
- 本发明公开了一种光学系统波像差测量装置和方法，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克-哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换...
- 卢增雄齐月静苏佳妮杨光华周翊王宇
- 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置
- 本实用新型提出一种基于全反射原理的液体透过率测量装置，所述测量装置顺次包括光源，第一光学棱镜，样品管，第二光学棱镜，所述测量装置还包括用于移动第一光学棱镜的第一精密位移台，用于移动第二光学棱镜的第二精密位移台，探测系统，...
- 苏佳妮齐月静齐威卢增雄杨光华王宇
- 文献传递
- 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法
- 本发明提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法，该辅助调整装置包括能够分别安装在不同的所述反射镜装置上的第一辅助架和第二辅助架，第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，标记部位于第一辅助架的中心，第一辅助架的...
- 苏佳妮齐月静王宇卢增雄杨光华齐威
- 文献传递
- 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法
- 本发明公开了一种光谱共焦测量系统在线标定装置和方法，该装置包括白光宽光谱光源、滤光片、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、位移传感器、光谱仪和计算机，该方法包括转动滤光片的滤光片轮，让白光宽光谱...
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- 文献传递
- 一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法
- 本发明公开了一种光谱共焦测量系统标定装置和方法，该装置包括可调谐激光器、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、位移台、位移传感器、光谱仪和计算机。该方法包括通过位移传感器记录施加了位移的被测物的位...
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- 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究
- 2014年
- 在亚波长金属单狭缝聚焦结构的基础上,提出了一种易于集成加工的亚波长金属单狭缝填充金属条的超分辨率聚焦结构。采用时域有限差分法(FDTD)对该结构的聚焦特性进行了仿真分析。通过分析研究聚焦结构参数对聚焦效果的影响,获得了超衍射极限的聚焦光斑,该聚焦光斑的归一化光强I为4.5、焦半径(FWHM)为300 nm(小于λ/2,λ=632.8 nm)。对于±10 nm的尺寸与定位误差对结构的聚焦特性影响甚微。该模型聚焦结构的横向尺寸仅为2.0μm,适用于纳米光子学、集成光子电路等领域,具有较高的应用价值。
- 丁功明齐月静卢增雄卢荣胜周培松
- 关键词：光学器件时域有限差分法
- 一种高分辨率低畸变微型投影镜头
- 本发明提出一种高分辨率低畸变微型投影镜头，其特征在于，所述微型投影镜头包含两部分镜组，第一部分为发散镜组，具有负光焦度，第二部分为会聚镜组，具有正光焦度，所述发散镜组依次包括第一透镜(L1)，第二透镜(L2)，第三透镜(...
- 苏佳妮齐月静齐威卢增雄杨光华王宇
- 照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析被引量：6
- 2012年
- 点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论,分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响,确定了PDI检测极紫外光刻(EUVL)元件和系统时的最佳直径大小。分析计算得出,当用PDI检测数值孔经(NA)为0.3的系统时,采用直径大小为800nm的小孔较为适宜,其衍射波前均方根(RMS)偏差为6.51×10-5λ,强度均匀性为0.812。当用PDI检测NA为0.3的元件时,采用直径大小为500nm的小孔较为适宜,其衍射波前的RMS非对称偏差为8.40×10-5λ,强度均匀性为0.664。
- 卢增雄金春水马冬梅
- 关键词：光学设计点衍射干涉仪矢量衍射
- 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置
- 本实用新型提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，该辅助调整装置包括能够分别安装在不同的所述反射镜装置上的第一辅助架和第二辅助架，第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，标记部位于第一辅助架的中心，第一辅助架的后端设...
- 苏佳妮齐月静王宇卢增雄杨光华齐威
- 文献传递
- 一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法
- 本发明公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(6...
- 卢增雄齐月静王宇苏佳妮齐威杨光华周翊孟庆宾
- 文献传递
