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文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 2篇信号
  • 2篇通信连接
  • 2篇自动化
  • 2篇自动化测试
  • 2篇晶片
  • 2篇计算机
  • 2篇计算机处理系...
  • 2篇光信号
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  • 2篇处理系统
  • 1篇照片
  • 1篇正投影
  • 1篇射线
  • 1篇数据拼接
  • 1篇特征点
  • 1篇碲锌镉
  • 1篇碲镉汞
  • 1篇碲镉汞薄膜
  • 1篇显微镜
  • 1篇象限

机构

  • 6篇中国电子科技...

作者

  • 6篇折伟林
  • 6篇李达
  • 3篇邢伟荣
  • 2篇刘铭
  • 2篇韦书领
  • 1篇周立庆
  • 1篇沈宝玉

年份

  • 2篇2023
  • 3篇2022
  • 1篇2017
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
一种半峰宽自动化测试工装
本发明公开了一种半峰宽自动化测试工装,所述半峰宽自动化测试工装包括:光信号处理系统,用于基于样品生成测试信号,所述光信号处理系统中的样品台包括用于定位样品的定位结构;计算机处理系统,与光信号处理系统通信连接,用于接收测试...
李乾李达折伟林邢伟荣刘铭韦书领
文献传递
一种非接触式晶片轮廓提取与匹配系统
本发明公开了一种非接触式晶片轮廓提取与匹配系统,所述非接触式晶片轮廓提取与匹配系统包括:可见光相机,位于晶片的正上方,可见光相机用于获取晶片的可见光照片;轮廓提取与匹配模块,与可见光相机通信连接,轮廓提取与匹配模块用于接...
李乾牛佳佳李达刘朋超折伟林
一种半导体晶片X射线形貌像的样品承载装置及测试方法
本发明涉及一种半导体晶片X射线形貌像的样品承载装置及测试方法。样品承载装置包括样品承载装置包括样品台、若干卡扣以及布设在样品台上与卡扣数量相匹配的若干凹槽;凹槽以样品台上指定位置为起点向外延伸;卡扣设在凹槽内且可在凹槽内...
折伟林沈宝玉李达赵会崧周立庆
文献传递
自动测试大尺寸硅基碲镉汞薄膜厚度的装置及测试方法
本发明公开了一种自动测试大尺寸硅基碲镉汞薄膜厚度的装置及测试方法,本发明通过设计自动旋转样品的旋转台来实现小行程样品台即可以测试6英寸等更大尺寸的硅基碲镉汞薄膜材料的功能,结合数据拼接软件可以将4个象限的测试结果进行拼接...
折伟林李乾师景霞邢伟荣李达
文献传递
碲锌镉样品特征缺陷定位方法及碲锌镉样品制备方法
本发明涉及碲锌镉样品特征缺陷定位方法及碲锌镉样品制备方法。定位方法包括如下步骤:将样品在红外透过显微镜下确定内部特征点位置;在所述样品表面通过FIB‑SEM建立标记特征;通过建立样品内部特征点正投影于样品表面的虚拟位置与...
李乾牛佳佳折伟林李达韩岗
一种半峰宽自动化测试工装
本发明公开了一种半峰宽自动化测试工装,所述半峰宽自动化测试工装包括:光信号处理系统,用于基于样品生成测试信号,所述光信号处理系统中的样品台包括用于定位样品的定位结构;计算机处理系统,与光信号处理系统通信连接,用于接收测试...
李乾李达折伟林邢伟荣刘铭韦书领
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