刘洋
- 作品数：10 被引量：20H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学航天学院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- 双工件台回转交换的同步控制系统设计
- 2016年
- 在目前普遍应用的步进扫描投影式光刻机中,工件台技术是光刻机的核心技术之一。为了实现双工件台交换的关键步骤--转台齿轮同步调向,提出了一种基于DSP和FPGA公自转同步调向交换双工件台的控制系统设计和实现方法。基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与硬件装置,以TI公司型号为TMS320C6414的DSP为控制器,Altera公司型号为EP2S60F102014N的FPGA作为可编程逻辑器件,定义了通信协议,设计了信号采集装置,完成了基于PID的控制系统和算法的规划。在本文详细介绍了该控制系统的三相异步电机执行机构、传感器模块、信号处理模块、运动控制模块等方面的设计,最终通过实验,证明该系统可靠、稳定,能够达到预定的换台指标。
- 刘洋陈兴林何良辰宋跃张常江
- 关键词：光刻机DSPPID
- 光刻机工件台自转电机控制系统设计被引量：2
- 2016年
- 双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案。详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和传感器等方面的设计。运动控制卡主要采用TI公司的TMS320C6414芯片和Altera公司的EP2S60F102014N可编程逻辑器件,并定义信号传输协议。通过实验验证,系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到要求。
- 宋跃张常江强盛刘洋何良辰
- 关键词：圆光栅
- 陶瓷材料高温蠕变行为研究被引量：4
- 2012年
- 含有晶界玻璃相的陶瓷防热材料的高温蠕变行为主要包括晶界孔洞的成核及扩展,晶粒的滑移是控制晶界孔洞扩展的主要因素,决定了孔洞的扩展速率及扩展到完整晶界所需要的时间.建立了一个基于晶界滑移条件下单个及多个晶界孔洞扩展的模型,通过计算,给出了单个孔洞扩展的临界应力及扩展到完整晶界尺寸需要的时间,分析了在一个晶界上分别含有三晶孔洞和双晶孔洞时孔洞扩展的模式,讨论了两个孔洞在扩展过程中的相互影响,比较了前后两个孔洞在晶粒滑移条件下的扩展速率,并通过算例获得了前后两个孔洞连通与扩展同时完成的临界位置.定性及半定量的给出了晶粒滑移对蠕变陶瓷晶界孔洞扩展的影响,为计算晶界孔洞扩展到一个完整晶粒尺寸所需要时间奠定了理论基础.
- 刘洋梁军
- CMOS图像传感器电子辐照实验的研究被引量：7
- 2016年
- 研究了电子辐射剂量对CMOS图像传感器性能的影响,性能参数为平均暗电流输出和光强响应度。搭建了电子辐射场和光强响应度的测量系统,在器件处于工作状态和非工作状态下分别对其辐射,辐射剂量为:5×103 rad、1×104 rad、7×104 rad、1×105 rad、5×105 rad。对于暗电流,当辐射总剂量超过7×104rad^1×105rad之间的某一个阈值时,暗电流随着辐射剂量的增长基本呈线性增加;光强响应方面,当器件处于非工作状态接受辐射时,辐射剂量对光强响应影响不大;当器件处于工作状态接受辐射时,辐射剂量超过7×104 rad,光强响应曲线会下移,斜率减小,灵敏度降低。理论分析后,得到了暗电流随电子辐射剂量的变化模型。研究表明:长期工作于空间环境下的CMOS图像传感器,容易受到辐射总剂量效应的影响,需采取一定的防辐射措施。
- 周彦平谢小龙刘洋靳浩于思源
- 关键词：CMOS图像传感器
- 光刻机掩膜台微动台调平控制系统设计被引量：1
- 2015年
- 考虑到光刻机微动台相对于硅片调平运动的快速性、准确性和稳定性的要求,提出了一种基于DSP与FPGA的三自由度调平控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSP TMS320C6414芯片为主控制器,Altera公司的EP2S60F102014N为协控制器,设计了以EP2C5Q208C8N为可编程器件的信号采集模块、传感器模块和驱动电路等方面,并通过实验证明整个控制系统的稳定性、快速性和准确性。
- 何良辰宋跃刘洋刘杨
- 关键词：光刻机
- 基于输入整形器的公转电机振动抑制
- 2016年
- 光刻机是超高精度控制系统,需要实现纳米级的运动与定位精度。而在光刻系统的换台过程中,公转电机处于核心位置,对其性能要求比较高,我们常用定位速度以及精度这些指标来衡量它的性能。但由于运动过程中,公转电机在快速定位时总会产生振动,从而影响其定位速度及精度。因此本文针对双工件台换台过程中公转电机的残留振荡,提出了一种基于粒子群优化算法的输入整形器,来提高公转电机的定位速度和精度,从而优化换台时间,缩短光刻机的硅片生产时间。
- 韩记晓张常江万勇利刘洋陈兴林
- 关键词：粒子群优化算法
- 多韧带蜂窝手性结构及其对称结构的声子特性研究
- 近年来,各种周期蜂窝结构因其优越的减震降噪特性而备受人们关注。本文研究多韧带手性结构,通过有限元计算各手性结构在不同几何构型下的带隙,得到带隙随几何构型变化的规律,对比分析不同手性结构的减振降噪特性。结果表明:相比于其他...
- 寇兴刘洋关威胡恒山
- 关键词：蜂窝结构带隙频响函数
- 文献传递
- 光刻机工件台控制系统存储扩展的设计与实现
- 2015年
- 为了满足光刻机工件台控制系统储存大量控制算法函数以及重要数据参数的要求,在分析了工件台控制系统主控模块的基础上,提出了一种以运动控制卡为主导的存储扩展方法 ,分别对FPGA和DSP进行了存储扩展设计,实现了工件台控制系统程序与数据的固化。最后,对FLASH的自启动进行了研究,介绍了一种通过自己编写的FLASH程序以及搬运程序实现DSP上电自启动的方法 ,成功验证了存储扩展设计的正确性,并在实际的工件台控制系统中得到了应用。
- 张常江魏凯宋跃刘洋陈兴林
- 关键词：运动控制卡
- 光刻机同步控制卡DSP与FPGA通信方案设计
- 2016年
- 光刻机同步控制卡以DSP为运算处理器,以FPGA为各接口接入芯片。为了实现DSP与各外设接口的通信,必须实现DSP与FPGA之间数据的准确传输。本文在给出了光刻机同步控制卡接口逻辑的总体方案下,详细介绍了一种基于EMIF接口的DSP与FPGA之间通信方案。由仿真和实验结果表明,该方案不仅实现了DSP与各外设接口数据的准确、快速传输,而且具有结构灵活、易于调试等特点。
- 张常江宋法质刘洋宋跃陈兴林
- 关键词：光刻机FPGA
- 基于神经网络的炭/炭复合材料烧蚀性能预测被引量：6
- 2007年
- 采用人工神经网络(ANN)对炭/炭复合材料烧蚀性能进行了预测。确定了炭/炭复合材料的密度、石墨化程度和基体炭类型为其烧蚀性能的关键控制因素,通过人工神经网络表征了炭/炭复合材料的密度、石墨化程度与其烧蚀性能之间的关系。在大量实验基础上对神经网络结构与参数发生变化时的网络性能进行了评估。结果表明,当网络训练集规模、隐层节点数、初始学习率与动量项等参数的取值分别为35、7、0.5和0.2时网络预测性能达到最佳状态,在此基础之上对炭/炭复合材料的质量烧蚀率进行了预测与评价。实践证明,采用人工神经网络对炭/炭复合材料的烧蚀性能进行预测时误差小于11%,满足工程实践的精度要求。
- 白光辉孟松鹤杜善义张博明梁军刘洋
- 关键词：人工神经网络
