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仇玉林

作品数：105 被引量：241H指数：9
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划北京市属高等学校中青年骨干人才培养计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子中心
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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