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余兆安

作品数：29 被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学文化科学更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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