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李超波

作品数：343 被引量：152H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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中国科学院
研究主题：催化剂 土壤 英文 青藏高原 遥感
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中国科学技术大学
研究主题：数值模拟 英文 性能研究 神经网络 网络
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浙江大学电气工程学院
研究主题：电力系统 电力市场 配电网 控制策略 永磁同步电机
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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嘉兴科民电子设备技术有限公司
研究主题：原子层沉积 太阳能电池 硅片 等离子体增强 前驱体
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