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罗家俊

作品数：476 被引量：90H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程文化科学更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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西安理工大学
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