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张兴成

作品数：52 被引量：18H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项住房和城乡建设部科学技术计划项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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