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章军辉

作品数：29 被引量：100H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：江苏省博士后科研资助计划项目更多>>
相关领域：交通运输工程机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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