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庄原

作品数：1 被引量：58H指数：1
供职机构：大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室更多>>
发文基金：中国航空科学基金国家自然科学基金辽宁省高等学校优秀人才支持计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

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大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题：化学机械抛光 表面粗糙度 硅片 数值模拟 微电铸
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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