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倪智萍
作品数:
14
被引量:54
H指数:4
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
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发文基金:
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相关领域:
电子电信
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一般工业技术
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合作作者
朱军
上海交通大学微纳米科学技术研究...
陈迪
上海交通大学微纳米科学技术研究...
丁桂甫
上海交通大学微纳米科学技术研究...
赵小林
上海交通大学微纳米科学技术研究...
杨春生
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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朱军
供职机构:上海交通大学
研究主题:微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
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陈迪
供职机构:上海交通大学
研究主题:微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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赵小林
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
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李建华
供职机构:上海交通大学
研究主题:网络安全 信息安全 网络 入侵检测 计算机网络
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毛海平
供职机构:上海交通大学
研究主题:微电感 电感量 微结构 反应离子刻蚀 磁芯材料
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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石磊
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:力学性能 平面微弹簧 MEMS器件 MEMS UV-LIGA技术
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李昌敏
供职机构:上海交通大学
研究主题:微结构 DEM技术 PMMA 高深宽比 反应离子刻蚀
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李以贵
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
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