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韩阶平
作品数:
19
被引量:33
H指数:3
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
化学工程
理学
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合作作者
侯豪情
中国科学院长春应用化学研究所
田如江
中国科学院微电子研究所
李秀琼
中国科学院微电子研究所
陈梦真
中国科学院微电子研究所
梁俊厚
中国科学院微电子研究所
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侯豪情
供职机构:江西师范大学
研究主题:聚酰亚胺 纳米纤维 电纺 聚吡咙 分子组装
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田如江
供职机构:中国科学院
研究主题:光刻 加工技术进展 电子束曝光 X光图像 SIR
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陈梦真
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 光刻 掩模 光刻胶 集成电路
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研究领域
李秀琼
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掺杂 半导体 集成电路 辉光放电 电子束
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梁俊厚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:集成电路 光刻 相移掩模 数值模拟 移相掩模技术
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刘辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子机械系统 HEMT 开关功率放大器 芯片 氮化硅薄膜
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魏珂
供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:X光图像 编码器 高能 高分辨率 孔径
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赵豪
供职机构:合肥国家同步辐射实验室
研究主题:X射线光刻 X射线 分子相互作用 反应离子刻蚀 国家同步辐射实验室
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李悦生
供职机构:天津大学
研究主题:催化乙烯 烯烃聚合催化剂 降冰片烯 环烯烃共聚物 乙烯
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丁孟贤
供职机构:陕西科技大学
研究主题:聚酰亚胺 二酐 聚酰亚胺纤维 聚醚酰亚胺 透气性能
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