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成荣

作品数：137 被引量：45H指数：4
供职机构：清华大学更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程文化科学更多>>

合作作者

领域

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主题

  • 35个电机
  • 35个感器
  • 35个传感
  • 35个传感器
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  • 28个光刻机
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机构

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  • 1个中国人民解放...
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资助

  • 31个国家自然科学...
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传媒

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地区

  • 40个北京市
  • 3个湖北省
  • 1个江苏省
  • 1个重庆市
共 45 条 记 录，以下是 1-10
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆海华
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李鑫
供职机构：清华大学
研究主题：平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊杰
供职机构：清华大学
研究主题：外差 位移测量系统 激光干涉 光刻系统 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘召
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 激光干涉仪 大行程 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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