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王东平

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

领域

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机构

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地区

  • 4个上海市
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  • 1个广东省
共 6 条 记 录，以下是 1-6
王文辉
供职机构：浙江大学
研究主题：硅 各向异性腐蚀 波导 制作方法 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 气体传感器 石墨烯 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王浙辉
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：叉指电极 集成电路工艺 微机械光开关 微机械 弯曲梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁纯
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：叉指电极 静电驱动 驱动电压
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院广州能源研究所
研究主题：微机械 硅 基片 热电转换效率 片状
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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