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鲍敏杭

作品数：98 被引量：211H指数：8
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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共 79 条 记 录，以下是 1-10
沈绍群
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院
研究主题：硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄宜平
供职机构：复旦大学
研究主题：MEMS 传感器 气体传感器 硅 SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周嘉
供职机构：复旦大学
研究主题：液滴 电极 流控技术 MEMS 流控
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹颢
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题：微机械 硅 静电驱动 各向异性腐蚀 非线性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王言
供职机构：复旦大学
研究主题：微机械 超声换能器 微机电技术 压电层 压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于连忠
供职机构：中国科学院地质与地球物理研究所
研究主题：弹性梁 加速度计 盖板 硅片 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
纪新明
供职机构：复旦大学
研究主题：有机磷 MEMS 红外光源 红外 气体传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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