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刘佳

作品数：11 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 2个电子电信
  • 1个经济管理
  • 1个自动化与计算...
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 2个导体
  • 2个电流
  • 2个淀积
  • 1个带隙
  • 1个氮化
  • 1个氮化硅
  • 1个氮化物
  • 1个倒退
  • 1个导电
  • 1个导电材料
  • 1个导电类型
  • 1个导电体
  • 1个导电性能
  • 1个导热性
  • 1个等离子体刻蚀
  • 1个等效氧化层厚...
  • 1个低K介质
  • 1个低电阻
  • 1个低功耗
  • 1个底面

机构

  • 2个中国科学院微...

资助

  • 1个国家重点基础...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个中国科学院“...

传媒

  • 1个半导体技术
  • 1个微电子学

地区

  • 2个北京市
共 2 条 记 录，以下是 1-2
骆志炯
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 半导体结构 沟道 堆叠 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王鹤飞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衬底 氧化层 半导体结构 刻蚀 晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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