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陈思琴

作品数：12 被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程电气工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

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地区

  • 8个上海市
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共 9 条 记 录，以下是 1-9
唐圣明
供职机构：中国科学院
研究主题：扫描电镜 扫描电子显微镜 反应离子刻蚀 硅传感器 成像技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩明
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：离子束刻蚀 伺服 硅 微机械器件 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐梅娣
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁阻 刻蚀 磁阻元件 磁性薄膜 磁记录
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊幸果
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：反应离子刻蚀 微机械 电容式加速度传感器 硅传感器 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王效东
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 静电马达 镍 陶瓷 微机械器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜根娣
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：聚酰亚胺 汞 压电晶体 半导体工艺 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙承龙
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：传感器 温度传感器 硅 RIE 反应离子深刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭方敏
供职机构：华东师范大学
研究主题：读出电路 光电探测器 量子效应 微光 读出
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡素英
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：X射线双晶衍射 X射线 半导体工艺 反应离子刻蚀 聚酰亚胺膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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