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王湘
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2
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中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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电子电信
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合作作者
张峰
中国科学院上海冶金研究所上海微...
陈静
中国科学院上海冶金研究所上海微...
陈猛
中国科学院上海冶金研究所上海微...
王曦
中国科学院上海冶金研究所上海微...
李炜
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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研究领域
李炜
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:场发射显示器 金刚石薄膜 非晶金刚石薄膜 类金刚石薄膜 光致发光
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陈静
供职机构:苏州大学机电工程学院
研究主题:SIMOX圆片 低剂量 球磨 锗 SOI
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陈猛
供职机构:清华大学
研究主题:注氧隔离 SOI 高温退火 SIMOX 低剂量
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张峰
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:血液相容性 氧化钛 氧化钛薄膜 离子注入 热解碳
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陈可炜
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI材料 CH AR SIS SIMOX
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董业民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI工艺 注氧隔离 抗辐射 绝缘体 静电保护电路
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徐彦芬
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI材料 SIMOX圆片 低剂量
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所获资助
研究领域
郑志宏
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 血液相容性 氮化钛 离子注入
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