2025年3月12日
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马涛
作品数:
5
被引量:18
H指数:1
供职机构:
华南师范大学
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发文基金:
广东省重点攻关基金
广东省自然科学基金
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相关领域:
理学
文化科学
机械工程
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合作作者
陈俊芳
华南师范大学物理与电信工程学院
吴先球
华南师范大学物理与电信工程学院
符斯列
华南师范大学物理与电信工程学院
樊双莉
华南师范大学物理与电信工程学院
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樊双莉
供职机构:华南师范大学
研究主题:离子密度 氮化硅薄膜 氮化硅 磁场 成膜温度
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符斯列
供职机构:华南师范大学物理与电信工程学院
研究主题:GAN薄膜 等离子体 等离子体参数 C-V法 ECR等离子体
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吴先球
供职机构:华南师范大学
研究主题:LABVIEW 虚拟仪器 声卡 远程实验 物理实验
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供职机构
所获资助
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陈俊芳
供职机构:华南师范大学物理与电信工程学院
研究主题:等离子体 LABVIEW ECR-PECVD 氮化硅 SI
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