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武国英

作品数：61 被引量：245H指数：9
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郝一龙
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
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王阳元
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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张国炳
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志宏
供职机构：北京大学
研究主题：电极 微针 针尖 微机电系统 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨振川
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 陀螺 电极 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李映雪
供职机构：北京大学
研究主题：SOI SIMOX SIMOX材料 退火 MOSFET
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志宏
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS 硅 VLSI 微机电系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖志雄
供职机构：北京大学
研究主题：版图设计 多晶硅 键合 氮化硅薄膜 干法
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