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薛彩荣

作品数：3 被引量：39H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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李新涛
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：高分辨率 分辨率 光刻系统 光刻胶 激光直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛丽君
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王力玉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：缓冲区 闪存 数据密集型应用 存取 存储设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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