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5 条 记 录,以下是 1-5
程兆谷
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:CO_2激光 脉冲预电离 二氧化碳激光器 横流二氧化碳激光器 散射光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
敖计祥
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:法线 硅片表面 硅片 光电信号 光电探测器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王毅强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:法线 硅片表面 硅片 光电信号 光电探测器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈建芳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:易加工 干涉仪 分光镜 分光 双频激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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