2025年1月10日
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熊幸果
作品数:
8
被引量:15
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
化学工程
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合作作者
陆德仁
中科院上海冶金研究所传感技术国...
王渭源
中国科学院上海冶金研究所上海微...
唐圣明
中国科学院上海冶金研究所上海微...
邹强
中国科学院上海冶金研究所上海微...
陈思琴
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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王渭源
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
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陆德仁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
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唐圣明
供职机构:中国科学院
研究主题:扫描电镜 扫描电子显微镜 反应离子刻蚀 硅传感器 成像技术
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张轩雄
供职机构:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
研究主题:卷积神经网络 图像识别 轨道交通 障碍物检测 边缘检测
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陈思琴
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:反应离子刻蚀 空间电场 刻蚀 硅传感器 微电子技术
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邹强
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:微机械 电容式 加速度传感器 对称体 电容式加速度传感器
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陈垚
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械器件 微机械 内应力 合金电镀 热膨胀系数
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