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高占友
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被引量:13
H指数:1
供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
于毅
清华大学信息科学技术学院微电子...
赵宏锦
清华大学信息科学技术学院微电子...
任天令
清华大学信息科学技术学院微电子...
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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供职机构
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研究领域
赵宏锦
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:硅基 氮化铝薄膜 刻蚀 直流磁控反应溅射 ALN薄膜
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供职机构
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任天令
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
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相关人物
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于毅
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:氮化铝薄膜 ALN薄膜 直流磁控反应溅射 硅基 ALN
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相关人物
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