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吴璟
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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自动化与计算机技术
轻工技术与工程
电子电信
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合作作者
朱健
中国电子科技集团公司第五十五研...
贾世星
中国电子科技集团公司第五十五研...
郁元卫
中国电子科技集团公司第五十五研...
黄旼
中国电子科技集团公司第五十五研...
石归雄
中国电子科技集团公司第五十五研...
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS MEMS开关 微机电系统 硅基 微机械
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贾世星
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
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郁元卫
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合工艺 滤波器 微机械 键合 刻蚀
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黄旼
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:硅基 微流体 异构集成 集成技术 压电层
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石归雄
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:圆片 旋涂 盐酸清洗 甩干机 氮化镓
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周相杰
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:厚膜技术 光刻机 晶圆片 微电子技术 定位夹具
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侯芳
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:芯片 键合工艺 圆片级 滤波器组 滤波器
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侯智昊
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:侧墙 氮化硅薄膜 硅电容 电容式压力传感器 电容间隙
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卓敏
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:干法刻蚀 光敏性 键合工艺 晶化 梁结构
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王守旭
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 微推进器 推进剂 大电流 传输线
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